Виды нитрида кремния

Виды нитрида кремния
Поскольку свойства материала сильно зависят от способа изготовления, нитрид кремния нельзя рассматривать как единый материал. Три основных типа нитрида кремния:

Реакционно-связанный нитрид кремния (RBSN)
Нитрид кремния горячего прессования (HPSN)
Спеченные нитриды кремния (SSN)
Реакционно-связанный нитрид кремния изготавливается путем прямого азотирования компактированного порошка кремния, и из-за сложности обеспечения полной реакции трудно достичь высокой плотности компонентов. Обычная плотность находится в диапазоне 2300–2700 кг/м3 по сравнению с 3200 кг/м3 для горячего прессования и спеченного нитрида кремния. Более высокая плотность придает материалам HPSN и SSN лучшие физические свойства и означает, что они используются в более требовательных приложениях. Азотирование приводит к лишь небольшому изменению объема, а это означает, что компоненты RBSN не нужно подвергать механической обработке после изготовления, а сложные формы, близкие к заданным, могут быть изготовлены за один технологический этап.