Пластина из нитрида кремния и способ ее изготовления.

Название патента:Подложка из нитрида кремнияи способ его изготовления, а также способ производства печатной платы и полупроводникового модуля из нитрида кремния с использованием пластины из нитрида кремния.
Техническая область:
Настоящее изобретение включает в себяПодложка из нитрида кремнияи способы его изготовления. Кроме того, изобретение предполагает использование подложек схем из нитрида кремния и полупроводниковых модулей с использованием вышеуказанныхПодложка из нитрида кремния.
Техника фона:
В последние годы в области электромобилей и других областях электромобилей появился силовой полупроводниковый модуль (Power Semiconductor Module) (IGBT, power MOSFET и т. д.), который может работать с высоким напряжением и большим током. Для подложки, используемой в силовом полупроводниковом модуле, можно использовать одну поверхность изолирующей керамической подложки для объединения с металлической печатной платой, а также можно использовать керамическую подложку схемы с металлической пластиной радиатора на другой поверхности. Кроме того, полупроводниковые элементы на металлической плате и так далее. Сочетание вышеупомянутых изолирующих керамических подложек с металлическими печатными платами и металлическими радиаторами, такими как так называемые медные пластины, непосредственно соединены между собой. к законному. Для такого силового полупроводникового модуля рассеивание тепла больше за счет протекания больших токов. Однако поскольку вышеупомянутая изолирующая керамическая подложка имеет низкую теплопроводность, она может стать фактором, препятствующим рассеиванию тепла полупроводниковых компонентов. Кроме того, возникновение термического напряжения вызвано степенью теплового расширения между изолирующей керамической подложкой, металлической печатной платой и металлической пластиной радиатора. В результате изолирующая керамическая подложка растрескивается и разрушается, либо металлическая печатная плата, либо металл рассеивает тепло. Плата отделяется от изолирующей керамической подложки.