Сколько вы знаете о нитриде кремния в субстратах нитрида кремния?

Сегодня позвольте мне представитьСиликоn нитридот аспекта производительности.

О физических свойствах

Во -первых, тепловые свойства нитрида кремния. Это высокотемпературный рефрактерный материал без температуры плавления. Он разлагается примерно в 1900 ℃ под нормальным давлением. Он обладает сильной устойчивостью к ползучести высокого давления. Точка смягчения нагрузки реактивного спеченного нитрида кремния без связующего может достигать 1800 ℃. Затем он обладает хорошей теплопроводности и небольшим коэффициентом термического расширения. Он также имеет хорошую электрическую изоляцию, небольшую диэлектрическую постоянную и высокое напряжение разбивки.

О химических свойствах

Силиконовый нитридимеет хорошую устойчивость к окислению и не реагирует с кислородом в сухой атмосфере ниже 800 ℃. Кроме того, он устойчив к коррозии расплавленного металла и не мочится элементарным металлическим расплавом (кроме меди) и не коррозируется. Другая характеристика заключается в том, что он легко растворим в гидрофторической кислоте и не работает с разбавленной кислотой.

О механических свойствах

Силиконовый нитридимеет хорошую высокую силу. Высокотемпературная прочность при 1200 ° C не ослабляет много по сравнению с прочностью комнатной температуры. Кроме того, его высокотемпературная скорость ползучести очень низкая. Все они определяются природой сильных ковалентных связей. Он имеет высокую твердость, уступая только нескольким материалам Superhard, таким как Diamond, Cubic BN, B4C и т. Д. Он также обладает низким коэффициентом трения и самосмазывающими свойствами, похожими на поверхность масляного металла.

Вышеуказанное сегодня введение вСиликоновый нитридИз трех аспектов физических свойств, химических свойств и механических свойств.